| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (*元) | 预计 采购日期 | 备注 |
| 1 | ****************** | 显微角分辨光谱仪 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 2 | ****************** | 基于扫描电子显微镜原位生长观测系统 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 3 | ****************** | 透射电镜电子直接探测系统 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 4 | ****************** | 透射电镜分割式环形全场探头 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 5 | ****************** | 表面激活键合系统 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 6 | ****************** | 金属有机化学气相沉积设备 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 7 | ****************** | *维薄膜材料化学气相沉积系统 | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 8 | ****************** | 大尺寸晶圆干法深硅刻蚀机 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| 9 | ****************** | 大尺寸晶圆化学机械抛光机 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 高速率晶圆级金刚石薄膜沉积系统 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 高精度异质材料等离子刻蚀系统 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 半导体超平表面离子束修正装置（****) | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 高导热结构集成刻蚀系统 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 多层材料微结构精确堆叠系统 | ******* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
| ** | ****************** | 全自动晶圆缺陷检测仪（** ***） | ********* | 详见项目详情 | ***.****** | ****年**月 | 详见项目详情 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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