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光刻机(XF-WSBX-2400039)采购公告

浙江 杭州市
企业采购
招标公告
发布时间:2024-03-13
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2024-03-13
招标 | 光刻机(XF-WSBX-2400039)采购公告
招标详情

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光刻机(**-****-*******)采购公告

发布时间:****-**-** **:**:**阅读量: 次

项目名称光刻机项目编号**-****-*******
公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:**
采购单位****付款方式货到付款,甲方在到货验收后**日内向乙方*次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求签约后**个工作日内
预算总价¥ ******.** + *** + ***
发票要求增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址****紫金港校区海纳苑7幢负*层超净室。供方负责免费送货并免费完成安装调试。
供应商资质要求

符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

公告说明

采购清单1

采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
光刻机1其他光学仪器

品牌品牌1***
型号*******/**
品牌2
型号
品牌3
型号
品牌4
型号
品牌5
型号
品牌6
型号
预算单价 ******.**
技术参数及配置要求*、技术参数
1、设备参数:
曝光面积:4英寸
曝光波长:*****
分辨力: 0.***
对准精度:±0.***
掩模样片整体运动范围: X:****;Y:****
掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
样片尺寸:直径****--直径*****(各种不规则片)
厚度0.***--***(可扩展为****)
曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,及接近式曝光*种功能
照明不均匀性:3%(直径*****范围)
双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过***+显示器对准,光学合像,光学最大倍数***倍,光学+电子放大***倍
物镜*对:4 倍、**倍、**倍
目镜*对:**倍、**倍、**倍
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和曝光间隙
具备压印模块接口,也具备接近模块接口
掩模相对于样片运动行程:X:±***;Y:±***;q:±6°
最大焦厚:*****(***胶,用户提供检测条件)
光源平行性:3.5°
曝光能量密度:&**;****/***,照明面温度&**;**°
单层曝光*键完成
采用球气浮自动找平
汞灯功率:****(直流,进口欧司朗品牌汞灯)
2、外形尺寸:约******(长)×*****(宽)×*****(高)
*、设备配置
品牌:*** 型号:*******/**
(1)曝光头:
冷光椭球镜
****进口直流高压汞灯(进口欧司朗品牌)*只
***汞灯调节台
冷却风扇
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(**个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2
(2)对准工件台:
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
基片抽拉式上下机构
样片调焦机构,电机自动调节
承片台4个:2.5英寸方片、2英寸圆片、3英寸圆片、4英寸圆片
掩模夹4个:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
(3)对准显微镜:
光源(配备品2只)、电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对(**倍、**倍、**倍,共6个)
物镜3对(4 倍、**倍、**倍,共6个)
***对准系统,**寸液晶显示器
(4)电控系统:
汞灯触发电源(****直流汞灯)
单片机控制系统
控制柜桌
(5)气动系统:
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
(6)其他附件:
真空泵*台
空压机*台
管道
(7)技术资料:
使用维修说明书
显微镜使用说明书
*、付款方式
需方在所有设备到货且验收成功,且收到供方开具的增值税专用发票后**个工作日内通过电汇支付全部***%货款。
*、服务要求
1、交付时间:签订合同后**天内交货。
2、交付地点:需方指定地点:浙江省杭州市西湖区余杭塘路***号****紫金港西区化学楼海纳苑7幢负*层超净室。供方负责免费送货至需方指定交货地点,并免费完成安装调试。
3、质保期: 1 年,终身维修,保修期从验收合格后开始计算。
4、服务标准、期限、效率:
(1)质保期:质保期内供方对货物出现的质量及安全问题负责处理解决并承担*切费用,因货物自身造成的质量问题,供方负责免费更换并维修,无条件提供质保维修,直至设备恢复正常;若货物出现无法排除的故障,供方无条件为需方更换同型号产品,以确保需方的正常使用;因人为原因造成货物损坏的,供方负责更换并维修,按照本次成交价折扣率折算配件**,或按照本次成交价更换整机。
质保期外供方应继续为需方服务,货物出现问题,供方为需方提供配件,按照本次成交价折扣率折算配件**,免人工费和差旅费。
(2)售后:提供现场免费技术培训;提供系统软件终身免费升级;****小时电话支持;如不需返厂维修,供方**小时内协助解决处理问题;如需返厂维修,报修后**小时内安排专人指导打包寄回原厂;额外赠送2只****进口欧司朗品牌直流高压汞灯;**年内提供2次免费移机服务。
5、验收标准
招标文件、投标文件、谈判记录、合同(协议)、磋商文件、响应文件。
6、培训
(1)需方安排技术人员,现场进行免费技术培训。
(2)需方提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书。
(3)培训地点:安装现场;培训时间:设备安装完成起1-5天;受训人员:需方指定。
(4)培训内容:
①设备结构、运行工作原理和设备控制工艺等内容介绍;
②设备操作规程、设备维护保养方法和设备运行参数调整等内容;
③设备*般性故障的诊断、定位和排除方法;
④指导*般操作人员的现场工作等。
参考链接
售后服务服务网点:当地;电话支持:****小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

****

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