高真空有机及热阻蒸发薄膜沉积系统等设备采购成交公告

品牌

沈阳科仪

型号

*****

生产厂商

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

产地信息

中国

技术规格及参数

*、设备组成及技术性能
极限真空度：****-***；
从大气抽至：****-***≤*****；
真空室漏率为：关机**小时≤****（新
设备空载，极限真空后关机）；
1、有机/金属联合热蒸发沉积室组件
1.1、真空室为方形腔体，腔体尺寸约为
*****×*****×*****（长×宽×高）。腔体
全部采用优质冷轧***不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面特殊工艺,抛光处理,外表美观，前后门采用优质铝合金制造，轻巧、美观；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1.1、*****法兰接口：1个（接样品台组件）；
1.1.2、*****法兰接口：1个（分子泵接口）；
1.1.3、****法兰接口：7个（接高真空电离
规管、膜厚仪探头、旁抽阀，备用）；
1.1.4、****法兰接口：3个（烘烤照明、低
真空规、充气阀）；
1.1.5、*****法兰接口：5个(3个无机蒸发
源、2个有机蒸发源)；
1.1.6、****法兰接口：2个（备用）；
1.2、前滑开门及后开门，前后门上均配观察窗，前滑开门尺寸约为*****×*****（长×高），后开门尺寸约为*****×*****（长×高）；
1.3、前开门使用磁力吸和，手动开关；
2、样品沉积升降转台机构：
2.1、不锈钢蒸发基片托1个，可容纳样品最大尺寸：*********。（抽插式结构）
2.2、样品可上下调节升降，满足样品到蒸发源距离可以调节的参数要求：范围是*****－*****；
2.3、样品台可加热室温-***℃；
2.4、样品台可由电机驱动****磁力转轴驱动，转速连续可调；转速： 5～**转/分；
2.5、样品挡板：1套；
2.6、掩膜板按甲方要求加工：1件。
3、有机蒸发源组件：4套
3.1、采用束源炉式加热蒸发结构，钽材质，单支石英坩埚容量：**毫升；备用石英坩埚**支；
3.2、温度控制系统采用程序控温表闭环反馈；加热炉加热温度范围：室温-***℃，连续可调，带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃；
3.3、有机束源炉蒸发源挡板：4套；
3.4、有机蒸发电源：2套。
4、金属蒸发源组件：3套
4.1、蒸发水冷电极4根：组成3个蒸发舟；金属蒸发钼舟5支；
4.2、蒸发电源：1台：最大输出功率1.***（电压**；电流****）；
4.3、挡板组件：1套；
4.4、使用进口控温表调节电流值，可设置电流精度0.**；
4.5、蒸发源之间设有可拆卸挡板，即防止蒸发源交叉污染又方便清洗安装；
5、观察窗及挡板：4套
用于观察样品及观察蒸发源状态，观察窗及挡板：Φ*****，分别放在前滑门和后开门上，前后门各2套。
6、抽气机组及阀门、管道
6.1、复合分子泵及变频控制电源（*****/S）：1台；
6.2、旋片真空泵（**/S）：1台；
6.3、插板阀*****：1台（用于复合分子泵与真空室隔离）；
6.4、旁抽角阀****：1台；
6.5、电磁隔断阀****：1台；
6.6、电磁压差式充气阀****：1台。
6.7、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套；
6.8、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套；7、电控系统及真空测量：
7.1、宽量程数显真空计：
电阻规：1.*******---1.****-***：1支
电离规：1.****-***---1.****-***：1支
7.2、触控屏点控控制，集成在机架台
7.3、供电电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断水报警功能：1套；
7.4、电机旋转电源：1套；
7.5、样品加热电源：1套；
7.6、断水报警系统：1套。（对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施，完善的逻辑程序互锁保护系统）
7.7、系统采用触摸屏点动控制方式。
8、膜层监测仪：1套
8.1、厚度显示范围：0--**μ****à；
8.2、厚度显示分辨率：1à；
8.3、速度显示范围：0—****.9à/S；
8.4、速度显示分辨率：0.1à/S；
8.5、层数：0—**层；
8.6、材料名称显示：***余种；
8.7、石英晶振探头：1个。
9、总体安装台架组件： 独立机架，尺寸大小同手套箱配合。
**、冷却水循环机：1套。
**、备件
**.1 无氧铜垫圈：设备所需规格 1套；
**.2 氟橡胶密封圈：设备所需规格 1套；
**.3 钨蒸发舟：**个；
**.4 工具箱：1套；
**.5 空气压缩机：1套。

售后及质保要求

1.质保期：我司提供制造商免费质保【1】年
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【**】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

品牌

米开罗那

型号

*********（ ****+****/***/*** ）

生产厂商

上海米开罗那机电技术有限公司

产地信息

中国

技术规格及参数

★ 1、2个***不锈钢的箱体通过法兰连接，耐酸，厚度3 **，长度：******；深度：*****；高度：*****可得气体纯度：水&**;****，氧&**;****，泄露率≤0.*****%/h。包含2种以上的泄露率检测以及自动监控功能，箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板;
▲2、大过渡舱直径*****，长度*****，小过渡舱直径*****，长度*****。大、小过渡舱于箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接，不能焊接于箱体侧板。
3、手套口铝合金。
4、循环能力：集成风机流量≥****/h，加装变频控制。
★5、有机溶剂吸附器，填充高效活性炭***，更换时不影响手套箱内气氛
6、净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。
★7、气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座，*个阀集成控制。
★8、检测系统：水分析仪：测量范围：0～******，水探头采用****传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了*次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0-*******，采用****传感器，不得采用燃料电池，****传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。
9.配置
手套箱1台

售后及质保要求

1.质保期：我司提供制造商免费质保【1】年.
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【**】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。